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ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀

更新時間：2024-12-03

訪問量：507

廠商性質：經銷商

生產地址：

簡要描述：
ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀
新型工藝氣體分析儀(RGA)，實現了高壓下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的簡單易操作性。來自不同生產線的設備工程師的反饋被納入產品的設計中，濺射設備的工藝管理（提高品質、提高良率）。
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科產地類別進口
應用領域環(huán)保,化工,電子,綜合

ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀


特點

  • 適用于各種濺射系統(tǒng)的工藝監(jiān)控

  • Air Leak監(jiān)控

  • 殘留水分管理

  • 無需差動排氣系統(tǒng)（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）

  • 內置顯示屏：無需PC可單獨操作使用

  • 可進行高靈敏度泄漏測試（CGM2-052）

  • 可進行全壓測定

  • 操作簡單-One Click功能

  • 標配Qulee QCS軟件

  • 支持CE標準

用途

  • 適用于濺射設備的殘余氣體分析、工藝監(jiān)控和雜質管理(H2O)。

  • 用于濺射設備的泄漏測試。

ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀

CGM-051/CGM2-101/CGM-052/CGM2-102

規(guī)格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型號CGM-051CGM2-101CGM-052CGM2-102
質量分離方式四極型質量分析儀
質量數范圍1～50 amu1～100 amu1～50 amu1～100 amu
檢出器法拉第杯二級電子倍增管／法拉第杯
感度0.1uA/Pa0.1mA/Pa
最小檢知分圧1x10-7Pa1x10-10Pa
最大使用圧力2Pa2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
線性1Pa
全壓力測量功能有
Degas functionElectron bombard type 300V, 5mA
一鍵檢漏功能有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
電源電壓DC24V±10％　50W
最大烘烤可能溫度
(傳感器單元連接時)		120℃
最大烘烤可能溫度
(傳感器單元移除時)		250℃
使用溫度范圍10～40℃
接口Ethernet
軟件Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用
符合標準CE


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